【讲座】半导体洁净厂房内制程排气系统的设计及设备应用

 为深化产学研协同创新，助力师生把握半导体工艺除污技术前沿，4月18日，城建学院在D教101举办题为《半导体洁净厂房内制程排气系统的设计及设备应用》专题讲座。活动特邀致和元集成系统科技（上海）有限公司技术总工程师、高级工程师陈博担任主讲，建环专业本科生、研究生及相关专业师生百余人积极参与。

 讲座伊始，陈博高工以建筑环境与能源应用工程（暖通）专业在半导体工艺中的实际应用为切入点，系统梳理了半导体制造工艺流程及不同环节产生的污染物气体特性。他结合洁净厂房设计规范，深入解析暖通系统在污染物控制中的核心作用，并重点围绕制程排气系统的方案设计原理、设备选型要点及系统集成框架展开阐述。陈博高工生动展现了建环技术与半导体工艺的深度融合场景，为师生构建了从理论到实践的完整知识体系。互动环节中，陈博高工进一步就半导体行业技术革新趋势、洁净厂房节能优化路径等话题与师生展开探讨，针对实验研究中的技术瓶颈和工程实践难题提出专业建议。

本次讲座不仅强化了学生对行业应用场景的认知，更拓展了科研选题与产业需求的对接视野。